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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6369222(A) 申请公布日期 1988.03.29
申请号 JP19860211668 申请日期 1986.09.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUBONE HITOSHI
分类号 H01L21/225;H01L21/228 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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