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发明名称 MOVING STAGE MECHANISM
摘要
申请公布号 JPS6369250(A) 申请公布日期 1988.03.29
申请号 JP19860213425 申请日期 1986.09.10
申请人 HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD 发明人 NEMOTO RYOJI;TANIUCHI TOSHIAKI
分类号 G12B5/00;B23Q7/04;H01L21/68;H01L21/683 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
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