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发明名称 FOREIGN MATTER REMOVING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6369516(A) 申请公布日期 1988.03.29
申请号 JP19860213897 申请日期 1986.09.12
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MACH & ENG LTD 发明人 SATO TAKESHI
分类号 B01D35/02;B01D35/16 主分类号 B01D35/02
代理机构 代理人
主权项
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