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发明名称 BREAKER FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6368397(A) 申请公布日期 1988.03.28
申请号 JP19860209831 申请日期 1986.09.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TOKURA MOTOKI;OSHITA MASAYUKI
分类号 H01L21/301;B26F3/00;H01L21/78;H01L23/12;H05K3/00 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
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