电容器及其生产工艺

摘要

一种电容器,它是通过在下电极外周边之内的下电极的一个区域上形成铁电体层,该铁电体层在铁电体层的侧面由绝缘材料覆盖的状态下变成电容部分,然后在铁电体层上形成上电极而产生的。

主权项

1.一种生产电容器的工艺，所述电容器包括上电极、下电极和置于上电极和下电极之间的由铁电体制成的电容部分，至少具有单层或多层结构的所述电极中的一个由对氧具有弱活性的金属、或即使被氧化变为氧化物时也具有导电性的金属，或导电的金属氧化物制成，其特征在于所述工艺包括：形成下电极；在下电极上形成具有比所述铁电体小的介电常数的绝缘层，然后去掉下电极外周边内的绝缘层部分，在所述绝缘膜上形成开孔，以便够到下电极；在所述开孔中形成由铁电体制成的电容部分，以及在电容部分上形成上电极。