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经营范围
发明名称
MOVABLE STAGE MECHANISM
摘要
申请公布号
JPS6367743(A)
申请公布日期
1988.03.26
申请号
JP19860211923
申请日期
1986.09.09
申请人
HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD
发明人
TANIUCHI TOSHIAKI;NEMOTO RYOJI
分类号
B23Q3/08;B23Q1/00;B23Q1/01;B23Q1/03;G12B5/00;H01L21/68
主分类号
B23Q3/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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