发明名称 MOVABLE STAGE MECHANISM
摘要
申请公布号 JPS6367743(A) 申请公布日期 1988.03.26
申请号 JP19860211923 申请日期 1986.09.09
申请人 HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD 发明人 TANIUCHI TOSHIAKI;NEMOTO RYOJI
分类号 B23Q3/08;B23Q1/00;B23Q1/01;B23Q1/03;G12B5/00;H01L21/68 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
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