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发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6367734(A) 申请公布日期 1988.03.26
申请号 JP19860212007 申请日期 1986.09.09
申请人 CITIZEN WATCH CO LTD 发明人 NAKADA TOSHIKAZU;TOIDA TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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