| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SOLID-STATE THIN-FILM THROUGH PHOTO-CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6366924(A) |
申请公布日期 |
1988.03.25 |
| 申请号 |
JP19870069695 |
申请日期 |
1987.03.23 |
| 申请人 |
HAMAKAWA YOSHIHIRO |
发明人 |
HAMAKAWA YOSHIHIRO;OKUYAMA MASANORI |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/205;H01L21/263 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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