发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6365643(A) 申请公布日期 1988.03.24
申请号 JP19860210243 申请日期 1986.09.05
申请人 NEC CORP 发明人 MIYAMOTO HIDENOBU
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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