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发明名称 RESIST COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6365622(A) 申请公布日期 1988.03.24
申请号 JP19860209853 申请日期 1986.09.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKI YOSHIMASA
分类号 B05D1/40;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
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