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经营范围
发明名称
INTEGRIERTE HALBLEITERSCHALTUNG
摘要
申请公布号
DE3722421(A1)
申请公布日期
1988.03.24
申请号
DE19873722421
申请日期
1987.07.07
申请人
MITSUBISHI DENKI K.K.
发明人
TOBITA,YOUICHI
分类号
H01L27/04;G05F1/46;G05F3/24;H01L21/66;H01L21/70;H01L21/822;(IPC1-7):H01L23/56;H01L21/72
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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