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发明名称
METHOD AND APPARATUS OF TREATING PHOTORESISTS
摘要
申请公布号
EP0239669(A3)
申请公布日期
1988.03.23
申请号
EP19860116311
申请日期
1986.11.25
申请人
USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA
发明人
SUZUKI, SHINJI;ARAI, TETSUJI;OHNO, KUNIHARU;UEKI, KAZUYOSHI;MIMURA, YOSHIKI;TANAKA, KAZUYA;SUGIOKA, SHINJI;SUZUKI, HIROKO
分类号
G03C5/08;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/26
主分类号
G03C5/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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