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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6365067(A) 申请公布日期 1988.03.23
申请号 JP19860210073 申请日期 1986.09.05
申请人 CHIYUUNICHI SANGYO KK 发明人 KOIDE HIROSHI
分类号 C23C14/32;C30B23/02 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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