发明名称 METHOD FOR ETCHING OPENINGS WITH A CONTROLLED WALL PROFILE
摘要
申请公布号 EP0201037(A3) 申请公布日期 1988.03.23
申请号 EP19860105947 申请日期 1986.04.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHEN, LEE;MATHAD, GANGADHARA SWAMI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/60 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址