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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6365068(A) 申请公布日期 1988.03.23
申请号 JP19860209078 申请日期 1986.09.05
申请人 TOKUDA SEISAKUSHO LTD 发明人 TAMAI YOICHI
分类号 H01L21/302;C23C14/34;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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