发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING LOW RESISTANCE NON-ALLOYED CONTACT LAYER
摘要
申请公布号 EP0226106(A3) 申请公布日期 1988.03.23
申请号 EP19860116617 申请日期 1986.11.29
申请人 ALLIED CORPORATION 发明人 AINA, OLALEYE ADETORO ALLIED CORPORATION;LAKHANI, AMIR ALIMOHAMED ALLIED CORPORATION
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/812;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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