发明名称 JET SCRUBBING METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPS6364328(A) 申请公布日期 1988.03.22
申请号 JP19860208802 申请日期 1986.09.04
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 IIMURO SHUNICHI;AMAMIYA YUTAKA;KONISHI NOBUO
分类号 H01L21/304;B08B3/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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