| 发明名称 |
METHOD OF DRIVING POSITIONING STAGE MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6363988(A) |
申请公布日期 |
1988.03.22 |
| 申请号 |
JP19860209050 |
申请日期 |
1986.09.04 |
| 申请人 |
OMRON TATEISI ELECTRONICS CO |
发明人 |
KOSHIBA YOSHIHITO |
| 分类号 |
G12B5/00;G01B21/00;G05B19/416;G05D3/12;H01L21/68 |
主分类号 |
G12B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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