发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6364366(A) 申请公布日期 1988.03.22
申请号 JP19860207860 申请日期 1986.09.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 MASUDA NOBORU;YAMASHITA HIROKI;TANAKA HIRONORI
分类号 H01L29/812;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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