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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6362872(A) 申请公布日期 1988.03.19
申请号 JP19860207367 申请日期 1986.09.03
申请人 UNITIKA LTD 发明人 OKA KAZUKI;WATANABE YASUMITSU;YAMAMOTO HIROICHI;YAMASHITA MICHIHIRO
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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