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发明名称 PARTS HANDLING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6362342(A) 申请公布日期 1988.03.18
申请号 JP19860207147 申请日期 1986.09.03
申请人 HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD 发明人 HIROKAWA HIDEO;KUWABARA ICHIRO
分类号 B65G47/82;B65G59/06;B65G61/00;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 B65G47/82
代理机构 代理人
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