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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR HIGH-SPEED DEPOSITION OF AMORPHOUS HYDROGENATED METALLIC SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPS6362224(A) 申请公布日期 1988.03.18
申请号 JP19860205882 申请日期 1986.09.03
申请人 SHINDENGEN ELECTRIC MFG CO LTD;YAMANASHI DENSHI KOGYO KK 发明人 WAKATABE MASARU;FUJIMORI KENICHI;OGINO OSAMU;TAKEI MITSURU
分类号 H01L31/04;H01L21/205 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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