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发明名称 PLASMAPROZESSOR
摘要
申请公布号 DE3729347(A1) 申请公布日期 1988.03.17
申请号 DE19873729347 申请日期 1987.09.02
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K. 发明人 NAKANISHI,KOICHIRO;OOTERA,HIROKI;HANAZAKI,MINORU;MINAMI,TOSHIHIKO
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H05H1/18;H05H1/30;H01L21/306 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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