发明名称 LSI CHIP LAYOUT SUPPORTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6361370(A) 申请公布日期 1988.03.17
申请号 JP19860203671 申请日期 1986.09.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIGEGAKI MASATO
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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