DRY-ETCHING PROCESS,申请号EP19840111847-传众专利搜索

发明名称	DRY-ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号	EP0140201(A3)	申请公布日期	1988.03.16
申请号	EP19840111847	申请日期	1984.10.03
申请人	ASAHI GLASS COMPANY LTD.;KOKUSAI ELECTRIC CO., LTD.	发明人	SENOUE, MAKOTO;TERASE, KUNIHIKO;IIDA, SHINYA;KOMATSU, HIDEO
分类号	C09K13/08;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	C09K13/08
代理机构		代理人
主权项
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