| 发明名称 |
A process for silicon device isolation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2194858(A) |
申请公布日期 |
1988.03.16 |
| 申请号 |
GB19860014666 |
申请日期 |
1986.06.17 |
| 申请人 |
THE * PLESSEY COMPANY PLC |
发明人 |
MARTIN CEREDIG * ROBERTS |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/308;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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