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经营范围
发明名称
PROCESS FOR DRY ETCHING A SILICON NITRIDE LAYER
摘要
申请公布号
EP0187601(A3)
申请公布日期
1988.03.16
申请号
EP19850402634
申请日期
1985.12.26
申请人
FUJITSU LIMITED
发明人
SHIN, TESHIKI
分类号
H01L21/302;H01L21/145;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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