| 发明名称 |
FORMATION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6360197(A) |
申请公布日期 |
1988.03.16 |
| 申请号 |
JP19860203677 |
申请日期 |
1986.09.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAYAMA TAKANOBU;TAKAGI KAZUMASA;KOBAYASHI TOSHIO;SUSA KENZO |
| 分类号 |
C30B25/14;C30B23/08;C30B25/16;C30B25/18;C30B29/40;H01L21/203;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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