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发明名称 VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS6360281(A) 申请公布日期 1988.03.16
申请号 JP19860204350 申请日期 1986.08.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OBA TAKAYUKI
分类号 H01L21/285;C23C16/08;C23C16/14;H01L21/28 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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