发明名称 OXYGEN REMOVING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6360523(A) 申请公布日期 1988.03.16
申请号 JP19860205411 申请日期 1986.09.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HASE NOBUYASU;OSHIMA MASAAKI;TAKEUCHI YOSHINORI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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