| 发明名称 |
SELF-ALIGNED ULTRA HIGH-FREQUENCY FIELD-EFFECT TRANSISTOR, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0235705(A3) |
申请公布日期 |
1988.03.16 |
| 申请号 |
EP19870102455 |
申请日期 |
1987.02.20 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
MITANI, TATSURO C/O PATENT DIVISION;FUKUDA, TOSHIKAZU C/O PATENT DIVISION |
| 分类号 |
H01L29/872;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/285;H01L21/265;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L29/872 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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