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发明名称 METHOD FOR COATING SUBSTRATE SURFACE BY PLASMA VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPS6360282(A) 申请公布日期 1988.03.16
申请号 JP19860202943 申请日期 1986.08.29
申请人 ORIENTAL ENG KK 发明人 KAWADA KAZUYOSHI
分类号 C23C16/30;C23C16/50;C23C16/511 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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