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发明名称 A METHOD FOR MEASURING IMPURITY CONCENTRATIONS IN A LIQUID AND AN APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 EP0242564(A3) 申请公布日期 1988.03.16
申请号 EP19870103498 申请日期 1987.03.11
申请人 NIPPON CHEMICAL IND;NOMURA MICRO SCIENCE CO LTD 发明人 KOHSAKA, YASUO;NIIDA, TOHRU;SATO, HISAO;KANO, HAJIME
分类号 G01N15/14;G01N15/00;G01N15/06;G01N33/18;(IPC1-7):G01N15/00;G01N15/10 主分类号 G01N15/14
代理机构 代理人
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