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发明名称 A METHOD FOR THE PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES USING LIQUID EPITAXY
摘要
申请公布号 EP0188352(A3) 申请公布日期 1988.03.16
申请号 EP19860300180 申请日期 1986.01.13
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 TANEYA, MOTOTAKA;MATSUI, SADAYOSHI;MATSUMOTO, MITSUHIRO
分类号 H01L21/208;H01L27/15;H01L33/14;H01L33/30;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
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