METHODS FOR APPLYING SIMULTANEOUSLY ON A PLURALITY OF INTEGRATED CIRCUIT BOARDS A FILM HAVING A UNIFORM THICKNESS AND CONSISTING OF ARSENIC OR GERMANIUM SELENIDE GLASS SENSITIZED BY A SILVER SALT.

摘要

Des procédés pour appliquer simultanément sur une pluralité de plaquettes de circuits intégrés une pellicule photosensible d'épaisseur uniforme en verre de séléniure de germanium ou d'arsenic sensibilisé par un sel d'argent. Un dispositif selon l'invention comporte un réacteur (1) de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma qui est connecté sur une pompe à vide (4) et sur un panneau de distribution de gaz (6) qui est connecté sur des bouteilles (7, 8, 9) contenant respectivement de l'azote, de l'hydrogène sélénié et du germane. Le réacteur (1) comporte un chariot (13) portant des paires de plaques en graphite (15a, 15b) qui sont connectées sur un générateur (17) de tension oscillante. Les plaquettes en silicium (18) sont posées contre les électrodes (15a, 15b). Une application est la fabrication de circuits intégrés complexes.