| 摘要 |
Système pour le chargement rapide d'un ensemble de palettes dans un appareil de pulvérisation cathodique. Le système comporte un chargeur (45) pourvu d'une pluralité de supports de palettes espacés verticalement. Le chargeur est supporté de manière amovible dans une chambre de chargement de l'appareil de pulvérisation au moyen d'un ensemble de voies pour la chambre. Un chariot de chargement mobile (73) faisant partie du système comporte (a) un chariot déplaçable (110), (b) un ensemble de voies (74) pour chargeur, (c) un mécanisme pour déplacer verticalement l'ensemble de voies-supports par rapport au chariot déplaçable, et (d) un ensemble de voies de transfert (127) permettant de transférer le chargeur depuis l'ensemble de voies-supports sur le chariot jusqu'à l'ensemble de voies de chambre situé dans la chambre de chargement. |
