发明名称 UNIVERSAL FLAT ORIENTER FOR SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 EP0145749(B1) 申请公布日期 1988.03.16
申请号 EP19840902291 申请日期 1984.05.22
申请人 ASQ BOATS, INC. 发明人 LEE, STEVEN, NYONG
分类号 B65G1/20;B65G47/248;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):B65G47/24;H05K13/00 主分类号 B65G1/20
代理机构 代理人
主权项
地址