发明名称 HIGH SPEED PATTERN MATCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6359682(A) 申请公布日期 1988.03.15
申请号 JP19860203957 申请日期 1986.08.29
申请人 JUKI CORP 发明人 AIDA TAKESHI
分类号 H01L21/66;G06T7/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址