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发明名称 HIGH SPEED PATTERN MATCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6359681(A) 申请公布日期 1988.03.15
申请号 JP19860203956 申请日期 1986.08.29
申请人 JUKI CORP 发明人 AIDA TAKESHI
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G06T7/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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