| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON POLYIMIDAZOL- UND POLYIMIDAZOPYRROLON-RELIEFSTRUKTUREN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT32957(T) |
申请公布日期 |
1988.03.15 |
| 申请号 |
AT19840115195T |
申请日期 |
1984.12.12 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUENCHEN |
发明人 |
AHNE, HELLMUT, DR. |
| 分类号 |
C08G73/18;C08G73/20;G03F7/26;H01L21/312;H01L21/47;(IPC1-7):G03F7/26;G03C1/70;G03F7/10 |
主分类号 |
C08G73/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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