| 发明名称 |
MANUFACTURE OF FILM CARRIER WITH BUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6358938(A) |
申请公布日期 |
1988.03.14 |
| 申请号 |
JP19860204518 |
申请日期 |
1986.08.29 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KOBAYASHI MINORU;FUJITA MINORU;NANGO SHIGEYUKI |
| 分类号 |
H01L23/48;H01L21/52;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L23/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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