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发明名称
ULTROVIOLET CURING APPARATUS FOR OPTICALLY CURING PHOTORESIST
摘要
申请公布号
JPS6358931(A)
申请公布日期
1988.03.14
申请号
JP19860204513
申请日期
1986.08.29
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAKAMOTO KAZUO
分类号
H01L21/027;G03F7/00;H01L21/30
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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