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发明名称 MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6358855(A) 申请公布日期 1988.03.14
申请号 JP19860202926 申请日期 1986.08.29
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SATO TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/84 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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