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发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXY EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6358916(A) 申请公布日期 1988.03.14
申请号 JP19860204087 申请日期 1986.08.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OOTA TOSHIMICHI;INADA MASAKI;EDA KAZUO
分类号 H01L21/26;H01L21/203 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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