| 发明名称 |
FORMATION OF CONDUCTIVE CARBON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6357769(A) |
申请公布日期 |
1988.03.12 |
| 申请号 |
JP19860198052 |
申请日期 |
1986.08.26 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
MIZOGUCHI AKIRA;SHIOTANI JUN;YAMAGUCHI YOICHI;MATSUBARA HIRONAGA |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/32;C23C16/26;C23C16/48;H01B5/14;H01B13/00;H01C17/20;H01L21/3205 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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