| 发明名称 |
MANUFACTURE OF RECRYSTALLIZED SEMICONDUCTOR THIN-FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6356912(A) |
申请公布日期 |
1988.03.11 |
| 申请号 |
JP19860200309 |
申请日期 |
1986.08.27 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR & ELECTRONICS LTD |
发明人 |
SHINPO MASAFUMI;SHIMIZU NOBUHIRO |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
