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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6338323(U) 申请公布日期 1988.03.11
申请号 JP19860131267U 申请日期 1986.08.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;B05C11/08;B05D1/40;B66C1/22;B66C1/62;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/312;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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