在基材上生成图案化薄层的方法

摘要

本发明系提供用来图案化覆层一基片的方法，该基片具有至少一表面要被覆层，该方法系可供快速且低成本地制成精密图案。为此目的，该方法乃包含以下步骤：在该至少一表面上制成至少一负向图案化的第一覆层；在该已设有第一覆层的表面上，沈积至少一第二层其包含一材料具有似玻璃结构；及至少部份地除掉该第一覆层。