具有二环己基悬挂官能基之化学式增强高分子及含有该高分子之阻剂组合物

摘要

本发明系关于具有二环己基悬挂官能基之化学增强高分子、制备该高分子之制程及包含该高分子之阻剂组合物。特定言之，本发明系关于具有二环己基键结之新的(甲基)丙烯酸((meth)acrylic)或冰片烯羧酸酯(norbornenecarboxylate)化合物、制备该化合物之制程、以该化合物来合成一化学式增强高分子、及包含该高分子具有高解析度与优良抗蚀刻性之用于ArF之正光阻组合物。091136589p01.bmp