发明名称
摘要
申请公布号 JPS638134(Y2) 申请公布日期 1988.03.10
申请号 JP19830192163U 申请日期 1983.12.15
申请人 发明人
分类号 H05K13/02;B65G1/00;B65G1/04;B65G1/07;B65H1/00;B65H1/28;B65H5/04;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;H05K13/00;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H05K13/02
代理机构 代理人
主权项
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